直線電機和光柵尺的精度大體決定了整個系統的定位精度。

 直線光柵編碼器，在選購上，主要選擇分辨率大，運行速度快，精度高。有金屬格柵和玻璃格柵尺，金屬格柵尺，長度不受限制，彎曲程度大，安裝方便。光柵尺沒有金屬光柵尺考慮到長度無限、彎曲等優點，但光柵尺在精度上優于金屬光柵尺。

 光柵尺是一類高精度線性位移傳感器，它由光源、聚光鏡、尺光柵、指示光柵和硅光電池組成。光柵尺是數控機床閉環控制系統中廣泛使用的測量裝置。光柵尺一般是由兩個長度不同的光柵尺配套而成，長的叫主光柵尺或光柵尺，它安裝在機床的運動部件上，要求行程長度相同，短的叫指示光柵，指示光柵與光源、透鏡、光敏元件都安裝在一起，安裝在機床的固定部件上。

 光柵編碼器是種常用的位置和速度傳感器，常作為運動伺服系統的反饋元件。光柵編碼器的精度對系統產品性能具有重要的作用。

 光柵編碼器，有圓的和直的，圓的叫碼板，直的叫光柵尺。根據要求，選擇正確的光柵。

 直線電機具有加減速高、遠端慣性小、靈敏度高、系統剛度高等優點。光柵尺是閉環控制系統中的一種測量裝置。光柵尺是個反饋系統。例如，帶滾珠絲杠平臺的步進電機也能添加光柵尺作為反饋。直線電機，音圈電機根據光柵尺反饋。為了保證全閉環，偶爾在使用伺服電機后在機構上加光柵尺。一般來說根據機構要求的精度選擇電機，選擇正確的光柵尺，形成閉環反饋。