直線電機平臺精度的影響因素是比較多的，當中有電機測速的光柵尺精度，與電機本身的軟件算法，也是影響精度的因素，光柵尺是高精度的直線位移傳感器，不過檢測電機平臺精度一般使用定位精度和重復定位精度來檢測。

 1.定位精度

 實際位置和理想位置之間的誤差稱為定位誤差。定位精度是指數控裝置的控制下，利用測量機床每運動部件的運動可以實現的精度。按照測量的定位精度值，可以知道機床自動加工過程中能達到的工件加工精度。

 2.重復定位精度

 指滑板或機床小車在安全距離范圍內（一般為200-300mm）來回移動數次時，設備檢測到的精度。這一精度一般是需要在工廠進行重復制作某一工藝需要測量的精度，此精度決定的是一批零件加工的整體性，是一個重要的精度標準，若是精度不好，因此這批零件就不達標。

 3.應用

 可應用在數控機床上，比如pcb板定位，打孔機，計算機硬盤等等，是需要直線電機平臺來進行定位處理，并且面對細小孔徑的話，是要進行定位打孔的，常見的電機平臺是無法勝任這項工作的，并且直線電機平臺也能在物流運輸系統上應用，對物品的分揀等操作需要高精度的電機平臺處理。

 這些年，直線電機的運用展示出增長的趨勢。直線電機應用廣泛，對經濟的發展有重大幫助。